Sp.: Hverjar eru helstu undirbúningsaðferðirnar fyrir álnítríð (AlN)?
A: Það eru þrjár algengar iðnaðaraðferðir: bein nítrering á áli, kolvetnislækkunarnítrering og gufufasamyndun.
Þeir eru mismunandi hvað varðar hráefni, vinnsluaðstæður, kostnað og endanlega afköst efnisins.
Sp.: Hver er einfaldasta aðferðin, bein nítrering?
A: Það notar aðeins álduft og köfnunarefnisgas.
Hvarfið gerist við um það bil 600–1000 gráður, þar sem ál hvarfast beint við köfnunarefni og myndar AlN duft.
Þessi aðferð er einföld og -kostnaður. Það er hentugur fyrir stór-framleiðsla.
En það hefur líka skýr takmörk. Viðbrögðin eru mjög hröð og gefa frá sér mikinn hita. Ál getur bráðnað og myndað moli.
Duftið er venjulega gróft og inniheldur meira súrefnisóhreinindi.
Vegna þessa hefur endanlegt keramik aðeins meðalhitaleiðni.
Það er aðallega notað fyrir eldföst efni og lágt-varmafylliefni, ekki fyrir rafræn undirlag.
Sp.: Hvaða ferli er notað fyrir háþróuð-rafræn forrit?
A: Það væri kolvetnislækkun.
Það er mest notaða iðnaðaraðferðin fyrir-afkastamikið AlN duft.
Hráefnin eru súrál (Al₂O₃) og kolsvart.
Hvarfið fer fram í köfnunarefni við 1600–1800 gráður, þar sem súrál er minnkað og umbreytt í AlN.
Duftið sem framleitt er með þessari aðferð hefur samræmdar agnir, lítil óhreinindi og góða hertugetu.
Loka keramikið er þétt og hefur mikla hitaleiðni.
Það er mikið notað í:
IGBT afleiningar
5G RF tæki
Ný orkutæki fyrir raftæki
Gallinn er háhitaferlið. Það eyðir meiri orku og tekur lengri framleiðslutíma.
Sp.: Hvað með gufufasamyndun? Það hljómar öðruvísi.
A: Já, þetta er háþróað- og sérhæft ferli.
Það felur í sér aðferðir eins og halíð ammonolysis og MOCVD.
Í þessu ferli hvarfast -forefni úr áli eins og álklóríð eða lífræn álsambönd við ammoníak í gasfasaumhverfi.
Þessi aðferð framleiðir mjög hreint AlN með nanó-kvarðaagnum og engri þéttingu.
Það getur einnig ræktað AlN staka kristalla og þunnt þunnt filmur.
Það er aðallega notað fyrir:
Djúp UV LED
Hágæða-hálfleiðara eðluefni
Sérstök sjónræn tæki
Takmörkunin er kostnaður. Búnaðurinn er dýr og framleiðslan mjög lítil, þannig að hann er ekki notaður til fjöldaframleiðslu.
Sp.: Geturðu dregið saman muninn einfaldlega?
A: Jú.
Bein nítrering=með litlum tilkostnaði,-lítil iðnaðarefni
Kolvetnislækkun nítrunar=almenn aðferð fyrir há-varmakeramik
Gufufasa nýmyndun=ofur-efni með miklum hreinleika fyrir háþróaða ljósafræði og staka kristalla
Mismunandi AlN framleiðsluaðferðir leiða til mjög mismunandi notkunar. En þeir deila allir einni sameiginlegri áskorun: AlN er erfitt og brothætt og erfitt að vinna.
YCLaser býður upp á hár-nákvæm leysiskurðarkerfi sem eru hönnuð fyrir háþróað keramik eins og AlN.
Laserferlið okkar sem ekki-snertir snertir hjálpar til við að draga úr brúnflísum, aflögun og hitaskemmdum.
Við styðjum bæði sýnishornsprófanir og fjöldaframleiðsluþjónustu.
Ef þig vantar nákvæmnisskurð eða ör-borun á AlN, ekki hika við að gera þaðhafðu samband við okkur til að prófa.
