Álnítríð (AlN) er hágæða tæknilegt keramik með mikilli hörku og mikla stökkleika. Ólíkt sveigjanlegum málmum er ekki hægt að móta hertu AlN með hefðbundinni beygju, stimplun eða beygju. Það er mjög viðkvæmt fyrir brúnflísum og burðarsprungum við vélrænt álag.
Þar af leiðandi er það mikilvægt að ná tökum á sérhæfðri nákvæmni vinnslu-eins og teninga, ör-borun og yfirborðsfægingu- til að ná háum afrakstursafurðum og stöðugum hitauppstreymi. Alheims rafeinda- og hálfleiðaraiðnaðurinn treystir fyrst og fremst á fjórar kjarnavinnsluaðferðir:
1. Vélræn nákvæm slípa (venjuleg mótun)
Þetta er grunnaðferðin fyrir grunn geometríska mótun, þykktarstýringu og útfléttingu eftir-hertu stríðu.
Hvernig það virkar: Hár-hraði, demants-slípihjól sneiða í gegnum harða keramikfylkina til að fjarlægja umfram magn efnis.
Kostir og gallar: Það býður upp á mikla víddarstöðugleika og kostnaðar-hagkvæmni fyrir flatt undirlag í magni. Hins vegar, vélræn slípun hefur mikla líkamlega þjöppun, sem gerir það að verkum að það getur brotnað á brún. Það ræður ekki við flóknar rúmfræði eða ör-vias. Stöðug vatnskæling er skylda til að koma í veg fyrir varmaálagsbrot.
2. Nákvæm leysirvinnsla(Kjarnaferlið fyrir örbyggingar)
Laservinnsla er iðnaður-staðlað lausn fyrir teninga, rista, sneiða og flókna ör-vinnslu á há-rafrænum undirlagi.
Hvernig það virkar: -snertilaus,-orkuleysisgeisli gufar upp efni eftir forritaðri leið án þess að beita líkamlegum þrýstingi á verkfæri.
Kostir og gallar: Með því að koma í veg fyrir vélrænt álag kemur leysirvinnsla algjörlega í veg fyrir ör-sprungur og kantflögur. Það nær míkróna-hæðarvikmörkum, sem gerir ofur-fín fylki ör-míkróvega, þröngum raufum og óreglulegum útlínum kleift. Þetta gerir hana að algerri kjarnatækni til að massa-framleiða há-hálfleiðaraumbúðir og há-afl IGBT einingar.
3. Ultra-Precision Lapping & CMP (Nano-Scale Surface Finishing)
Fyrir AlN eins-hvarfefni og háþróaðar sjónrænar oblátur, ráða yfirborðsgrófleiki og flatleiki árangur af þunnri-filmu hálfleiðara undirstraums.
Hvernig það virkar: Þetta ferli sameinar tvíhliða- vélrænni slípun með efnafræðilegri fægingu (CMP) með því að nota ofur-fínt demantarefni og efnapúða.
Kostir og gallar: Það fjarlægir undir-yfirborðsgalla, ör rispur og ör-útskot, dregur úr grófleika yfirborðs að nanómetrakvarða (Ra<1mm). This perfect mirror finish ensures uniform epitaxial crystal growth and heavily boosts device reliability.
4. Niðurstraums yfirborðsbreyting og málmvæðing
Eins og-vinnað sýnir AlN mikla yfirborðsleysi og getur gengist undir lítilsháttar vatnsrof í röku umhverfi. Sérhæfðar yfirborðsmeðferðir eru notaðar eftir-vinnslu til að undirbúa efnið fyrir rafrásir.
Hvernig það virkar: Aðferðir eins og segulómsputtering, lofttæmiuppgufun eða líma sintering beita staðbundnu málmlagi á keramik yfirborðið (málmvinnslu).
Kostir og gallar: Þessi meðferð veitir AlN undirlaginu framúrskarandi lóðahæfni og víra-bindingargetu, umbreytir hráu keramiki í virkar DBC/DPC hringrásartöflur. Það setur einnig frá sér and-oxunar- og raka-hlífðarlög, sem lengir endingartíma íhlutans við erfiðar iðnaðaraðstæður.
Á heildina litið liggur kjarnaáskorunin við vinnslu álinítríðs í efniseiginleikum þess, -sérstaklega mikilli hörku, mikilli brothættu og litlu þolmörkum fyrir villum-sem krefjast þess að nota mikla-nákvæmni, lága-álagsaðferð eða jafnvel vinnslutækni án-snertingar.
Stöðugar framfarir í vinnslutækni, sérstaklega í nákvæmni leysirvinnslu, knýja áfram hraða þróun álnítríðs úr efni sem notað er í hefðbundið iðnaðarkeramik yfir í það sem er notað í hágæða-hálfleiðara-einkunn.
Á sviði nákvæmni vinnslu fyrir álnítríð og önnur háþróuð keramik,YCLASERleggur áherslu á rannsóknir og þróun og beitingu há-nákvæmni leysiskurðar- og örvinnslutækni.
Hafðu samband við YC LASER í dagtil að hámarka háþróaða keramikvinnuflæði með áreiðanlegri,-hagkvæmri leysilausn.
